光譜儀的微小型化

光譜儀的微小型化

微光學(xué)、微、微機(jī)械的結(jié)合產(chǎn)生出一類新的范圍很廣的器件——微型光機(jī)電系統(tǒng)(MOEMS)，它也是機(jī)、電、光、磁、化學(xué)、傳感技術(shù)等多種技術(shù)的綜合。MOEMS日益成為新的光學(xué)工具，已經(jīng)對許多基于光學(xué)的儀器顯示出應(yīng)用前景。作為MOEMS的一種，微型光譜儀具有許多大型光譜儀所不具備的優(yōu)點(diǎn)，如重量輕、體積小、探測速度快、使用方便、可集成化、可批量制造以及成本低廉等，像普通光譜儀一樣微型光譜儀有著巨大的應(yīng)用市場，可以應(yīng)用在實(shí)驗(yàn)室化學(xué)分析、臨床醫(yī)學(xué)檢驗(yàn)、監(jiān)測、航空航天遙感等領(lǐng)域，因而引起了人們廣泛的興趣。
微型光譜儀的實(shí)現(xiàn)可以應(yīng)用多種技術(shù)，常用的包括：采用新型濾光技術(shù)制作微型光譜儀；利用光纖的化學(xué)傳感性制成光纖探針進(jìn)行光譜分析；使用微細(xì)加工制作集成式微型光譜儀等。2采用新型濾光技術(shù)的微型光譜儀聲光可調(diào)濾光片(AOTF)是一種微型窄帶可調(diào)濾光片，是光譜儀微型化的一個方向，它通過改變施加在某種晶體上的射頻頻率來改變通過濾光片的光波長，而通過AOTF光的強(qiáng)度可利用改變射頻的功率進(jìn)行精密、快速的調(diào)節(jié)。它的分辨率很高，目前可以達(dá)到0.0125nm，沒有可動部件，波長調(diào)節(jié)速度快、靈活性高。
美國Brimrose公司和Jet Propulsion實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合設(shè)計一種微型電晶體NIR光譜儀。這種基于AOTF的反射型近紅外微型光譜儀主要造用于航天領(lǐng)域，使用發(fā)光二極管(LED)陣列作為光源，光纖作為光波傳輸介質(zhì)，該光譜儀重量

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